ISO/TR 19319:2003
表面化学分析 オージェ電子分光法および X 線光電子分光法 横方向分解能、分析領域およびサンプル領域の分析者の目視検査

規格番号

ISO/TR 19319:2003

制定年

2003

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

状態

撤回

に置き換えられる

ISO/TR 19319:2013

最新版

ISO/TR 19319:2013

範囲

This Technical Report provides information for measuring (1) the lateral resolution, (2) the analysis area, and (3) the sample area viewed by the analyser in Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy.

ISO/TR 19319:2003 発売履歴

• 2013 ISO/TR 19319:2013 表面化学分析 - ビームベースの方法における横方向の分解能と鮮鋭度を決定するための基本的な方法
• 2003 ISO/TR 19319:2003 表面化学分析 オージェ電子分光法および X 線光電子分光法 横方向分解能、分析領域およびサンプル領域の分析者の目視検査