ANSI/IEST/ISO 14644-1:1999
クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 空気清浄度の分類

規格番号

ANSI/IEST/ISO 14644-1:1999

制定年

2003

出版団体

American National Standards Institute （ANSI)

最新版

ANSI/IEST/ISO 14644-1:1999

ANSI/IEST/ISO 14644-1:1999 発売履歴

• 2003 ANSI/IEST/ISO 14644-1:1999 クリーンルームと関連する管理環境 パート 1: 空気清浄度の分類