BS ISO 18114:2003
表面化学分析、二次イオン質量分析、イオン注入標準の相対感度係数の決定。

規格番号

BS ISO 18114:2003

制定年

2003

出版団体

British Standards Institution (BSI)

状態

入れ替わる 2021-06

に置き換えられる

BS ISO 18114:2021

最新版

BS ISO 18114:2021

交換する

02/122922 DC:2002

範囲

この国際規格は、イオン注入された標準物質から二次イオン質量分析 (SIMS) の相対感度係数 (RSF) を決定する方法を指定します。 この方法は、マトリックスが均一な化学組成を持ち、注入種のピーク濃度が 1 原子パーセントを超えない試料に適用できます。

BS ISO 18114:2003 発売履歴

• 2021 BS ISO 18114:2021 表面化学分析用の相対感度係数の決定 二次イオン質量分析 イオン注入標準物質
• 2003 BS ISO 18114:2003 表面化学分析、二次イオン質量分析、イオン注入標準の相対感度係数の決定。