ISO 5302:2003
真空技術、ターボ分子ポンプ、性能特性の測定

規格番号

ISO 5302:2003

制定年

2003

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 5302:2003

範囲

この規格は、ターボ分子ポンプの性能パラメータの測定方法を規定したもので、ターボ分子ポンプのすべての仕様および種類に適用されます。 含まれるもの: a) 機械式または磁気ベアリング付き、b) 追加のトラクションステージの有無にかかわらず。 注: ターボ分子ポンプは補助ポンプのサポートを必要とするため、その性能を完全に決定するために、次の曲線が体積流量-集団圧力曲線の補足として使用されます: 1. 流量曲線; 1. 圧縮比曲線; 1. 圧縮率曲線; 1. 圧縮率曲線; 1. 圧縮率曲線1. 人口圧力変化曲線。 関連するすべての領域とさまざまなガスが含まれます。

ISO 5302:2003 規範的参照

• ISO 3529-2 真空技術 - 用語解説 - 第 2 部: 真空ポンプと関連用語*， 2020-02-25 更新するには

ISO 5302:2003 発売履歴

• 2003 ISO 5302:2003 真空技術、ターボ分子ポンプ、性能特性の測定