IS 8276 Pt.1-1976
真空計の校正方法 そのⅠ 圧力範囲10-1～10-5Paにおける連続流減圧

規格番号

IS 8276 Pt.1-1976

制定年

1977

出版団体

IN-BIS

最新版

IS 8276 Pt.1-1976

範囲

1.1 この規格 (パート I) は、10-1 ～ 10-5 Pa の圧力範囲での真空計の校正方法を規定しており、これにより既知の低圧力は、既知のガス流が循環管を通過することによって確立されます。 既知のコンダクタンスのオリフィス。 1.1.1 この方法が適用できる圧力の上限は、ガス分子の平均自由行程に対するオリフィスの直径によって設定されます。 下限は、校正されるゲージのタイプ、および装置内のガスの吸着または脱離の量によって異なります。

IS 8276 Pt.1-1976 発売履歴

• 1977 IS 8276 Pt.1-1976 真空計の校正方法 そのⅠ 圧力範囲10-1～10-5Paにおける連続流減圧