IS 10688-1983
真空装置の気密性確認方法

規格番号

IS 10688-1983

制定年

1984

出版団体

IN-BIS

最新版

IS 10688-1983

範囲

この規格では、真空プラントの気密性を証明するための以下の方法について説明しています。 a) ポンプ方式。 b) 圧力上昇法。 c) 質量分析計による方法。

IS 10688-1983 発売履歴

• 1984 IS 10688-1983 真空装置の気密性確認方法