GOST 25196-1982
真空装置 イオン注入装置の一般的な技術要件

規格番号

GOST 25196-1982

制定年

1982

出版団体

RU-GOST R

最新版

GOST 25196-1982

範囲

この規格は、固体、気体、液体イオンの導入を目的としたイオン注入ユニットに適用されます。

GOST 25196-1982 規範的参照

• GOST 24786-1981 鉱山防爆光学機器 一般的な技術条件

GOST 25196-1982 発売履歴

• 1982 GOST 25196-1982 真空装置 イオン注入装置の一般的な技術要件