DIN EN ISO 10692-2:2003
ガスシリンダー マイクロエレクトロニクス産業で使用するガスシリンダーバルブコネクター パート 2: ガスシリンダーバルブコネクターの仕様とタイプテスト
- 規格番号
- DIN EN ISO 10692-2:2003
- 制定年
- 2003
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 状態
- に置き換えられる
- DIN EN ISO 10692-2:2003-04
- 最新版
- DIN EN ISO 10692-2:2003-04
- 範囲
- この文書では、マイクロエレクトロニクス部品の製造など、最高レベルの清浄度および/または粒子の除去が要求される特別な使用条件下で使用される、ガスおよびガス混合物のガスシリンダーとバルブの間の接続に関するテスト手順と許容基準が規定されています。 バルブとシリンダーの接続の安全性を確保するための必須のタイプのテストプログラムを指定しています。 接続の耐久性およびその他の動作上の特徴を評価するために推奨される追加のテストは、付録 A に記載されています。
DIN EN ISO 10692-2:2003 発売履歴
- 2003 DIN EN ISO 10692-2:2003-04 ガスシリンダー - マイクロエレクトロニクス産業で使用されるガスシリンダーのバルブ接続 - パート 2: バルブとガスシリンダー接続の仕様とタイプのテスト (ISO 10692-2:2001)
- 2003 DIN EN ISO 10692-2:2003 ガスシリンダー マイクロエレクトロニクス産業で使用するガスシリンダーバルブコネクター パート 2: ガスシリンダーバルブコネクターの仕様とタイプテスト
