DIN EN ISO 10692-1:2003
ガスシリンダー、マイクロエレクトロニクス産業用のガスシリンダーバルブコネクター パート 1: 出力ポートコネクター
- 規格番号
- DIN EN ISO 10692-1:2003
- 制定年
- 2003
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 状態
- に置き換えられる
- DIN EN ISO 10692-1:2003-04
- 最新版
- DIN EN ISO 10692-1:2003-04
- 範囲
- この文書は、ガスおよびガス混合物用のガスシリンダーバルブの出口接続に適用され、マイクロエレクトロニクス部品または同様の用途の製造で最高レベルの清浄度と粒子の除去が要求される特別な要件に関係しています。
DIN EN ISO 10692-1:2003 発売履歴
- 2003 DIN EN ISO 10692-1:2003-04 ガスシリンダー - マイクロエレクトロニクス産業で使用されるガスシリンダーのバルブ接続 - パート 1: 出口接続 (ISO 10692-1:2001)
- 2003 DIN EN ISO 10692-1:2003 ガスシリンダー、マイクロエレクトロニクス産業用のガスシリンダーバルブコネクター パート 1: 出力ポートコネクター
