DIN 50451-1:2003
半導体プロセス材料の検査 液体中の微量元素の測定 原子吸光分析による硝酸溶媒中の銀、金、カルシウム、銅、鉄、カリウム、ナトリウムの測定

規格番号

DIN 50451-1:2003

制定年

2003

出版団体

German Institute for Standardization

状態

入れ替わる

に置き換えられる

DIN 50451-1:2003-04

最新版

DIN 50451-1:2003-04

交換する

DIN 50451-1:1987 DIN 50451-1:2002

範囲

この文書では、微量の銀、金、銅、鉄、カリウム、ナトリウムの関連金属微量について硝酸を検査する方法が規定されており、これには電熱噴霧による原子吸光分光法 (AAS) の方法が使用されます。 適用範囲は、0.1 ng/g ～ 50 ng/g の微量元素質量分率をカバーします。

DIN 50451-1:2003 発売履歴

• 2003 DIN 50451-1:2003-04 半導体技術材料の試験 - 液体中の微量元素の測定 - パート 1: 銀 (Ag)、金 (Au)、カルシウム (Ca)、銅 (Cu)、鉄 (Fe)、カリウム (K)、ナトリウム (Na) ) 硝酸中での原子吸光分析による
• 2003 DIN 50451-1:2003 半導体プロセス材料の検査 液体中の微量元素の測定 原子吸光分析による硝酸溶媒中の銀、金、カルシウム、銅、鉄、カリウム、ナトリウムの測定
• 0000 DIN 50451-1:2002
• 0000 DIN 50451-1:1987