ISO 17974:2002
表面化学分析 高分解能スパイラル電子分光計 元素および化学状態分析のためのエネルギースケールの校正

規格番号

ISO 17974:2002

制定年

2002

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 17974:2002

範囲

この国際規格は、表面の元素および化学状態の分析に使用されるオージェ電子分光計の運動エネルギー スケールを校正する方法を指定します。 また、1 つの中間エネルギーでの運動エネルギー スケールの直線性のテスト、1 つの低運動エネルギー値と 1 つの高運動エネルギー値でのスケール校正の不確実性の確認、そのスケールの小さなドリフトの修正、および拡張不確実性の定義のための校正スケジュールも指定します。 信頼水準 95 % での運動エネルギースケールの校正の結果 (この不確実性には、研究室間研究で観察された挙動の寄与が含まれていますが、考えられるすべての欠陥をカバーしているわけではありません)。 スパッタ洗浄用のイオンガンを組み込んだ装置のみに適用されます。 運動エネルギースケール誤差がエネルギーに対して著しく非線形である機器には適用できません。 一定の△EIEモードで0.2%、または一定の△Eモードで1.5eVよりも低い相対分解能で動作する機器、±0.05eV以下の許容限界を必要とする機器、または以下の機器には適用されません。 5 keV ～ 10 keV のエネルギー範囲で動作できない電子銃を備えたもの。 エネルギースケール上の各アドレス指定可能な点で測定されたエネルギーを確認するための完全な校正チェックは提供されません。 これはメーカーの推奨に従って実行されます。

ISO 17974:2002 発売履歴

• 2002 ISO 17974:2002 表面化学分析 高分解能スパイラル電子分光計 元素および化学状態分析のためのエネルギースケールの校正