ISO 3530:1979
真空技術質量分析計リーク検出器の校正
- 規格番号
- ISO 3530:1979
- 制定年
- 1979
- 出版団体
- International Organization for Standardization (ISO)
- 最新版
- ISO 3530:1979
- 範囲
- 質量分析計の検出要素を低圧に維持するための一体型高真空システムを備えたリーク検出器のみが説明されています。 2 つの手順の概要を説明します。 1 つは最小検出可能リーク率を決定する手順、もう 1 つは最小検出可能濃度比を決定する手順です。
ISO 3530:1979 発売履歴
- 1979 ISO 3530:1979 真空技術質量分析計リーク検出器の校正
