GB/T 21287-2007
電子工業用ガス 三フッ化窒素 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 21287-2007
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2007
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2022-05
- に置き換えられる
- GB/T 21287-2021
- 最新版
- GB/T 21287-2021
- 範囲
- この規格は、エレクトロニクス産業で使用されるボトル入りガスである三フッ化窒素の技術要件、試験方法、検査規則、梱包、マーキング、輸送、保管および安全性を規定しています。 この規格は、エレクトロニクス産業で使用される三フッ化窒素に適用されます。 主にエレクトロニクス産業におけるプラズマプロセス用のプラズマエッチャントおよび化学蒸着用の洗浄剤として使用されます。 分子式：NF3。 分子量：71.0019（2001年の国際相対原子量による）
GB/T 21287-2007 規範的参照
- GB 14194 ガスシリンダー充填に関する恒久的な規制
- GB 190 危険物包装標識*， 2009-06-21 更新するには
- GB 2723 新鮮な牛肉、新鮮な羊肉、新鮮なウサギ肉の衛生基準
- GB 5099 スチールシームレスガスシリンダー
- GB 7144 ガスシリンダーのカラーマーク
- GB/T 5832.1 ガス分析 微量水分の定量 パート 1: 電気分解法*， 2016-12-13 更新するには
- GB/T 6681 ガス化学製品のサンプリングに関する一般規則
GB/T 21287-2007 発売履歴
- 2021 GB/T 21287-2021 電子特殊ガス三フッ化窒素
- 2007 GB/T 21287-2007 電子工業用ガス 三フッ化窒素
