この公開文書は、BS EN ISO 14644-3:2005 の規定を補足する情報を提供します。
特に、オイルエアロゾルチャレンジと光度計を使用した高効率フィルターの現場リークテストに関する推奨事項と説明ガイダンスを提供します。
また、交換用フィルターの調達に関するガイダンス (付録 A) および試験報告書に必要となる可能性のある情報 (付録 B) も提供します。
この文書に含まれるガイダンスは、フェイススキャン可能な高効率エアフィルターのリークテストに関するものです。
この文書には、差圧、空気供給量、空気流の均一性など、クリーンルームに設置された高効率フィルターに対して実行される他のテストに関する情報は記載されていません。
BS PD 6609:2007 規範的参照
BS EN 1822-1 高効率エアフィルター (EPA、HEPA、ULPA) の分類、性能試験、ラベル表示
BS EN 1822-2 高効率エアフィルター(HEPA、ULPA) エアゾール製品、計測機器、微粒子計測統計*, 2010-01-31 更新するには
BS EN 1822-3 高効率エアフィルター (HEPA および ULPA) フラットシートフィルター媒体のテスト*, 2009-12-31 更新するには
BS EN 1822-4 高効率エアフィルター (HEPA および ULPA) フィルターエレメントの漏れ判定*, 2010-01-31 更新するには
BS EN 1822-5 高効率エアフィルター (HEPA および ULPA) フィルターエレメントの効率の決定*, 2010-01-31 更新するには