BS DD ISO/TR 15969:2001
表面化学分析、深さプロファイリング、スパッタ深さの測定。

規格番号

BS DD ISO/TR 15969:2001

制定年

2001

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS DD ISO/TR 15969:2001

範囲

この技術レポートは、スパッタ深さプロファイリングにおけるスパッタ深さの測定に関するガイドラインを提供します。 この技術レポートで説明されているスパッタ深さの測定方法は、イオン衝撃と組み合わせて固体サンプルの一部を最大数マイクロメートルの典型的なスパッタ深さまで除去するために使用される場合、表面化学分析の技術に適用できます。

BS DD ISO/TR 15969:2001 発売履歴

• 2021 BS PD ISO/TR 15969:2021 表面化学分析 スパッタ深さの深さプロファイル測定
• 2001 BS DD ISO/TR 15969:2001 表面化学分析、深さプロファイリング、スパッタ深さの測定。