BS EN 62047-2:2006
半導体デバイス、マイクロ電気機械デバイス、薄膜材料の引張試験方法

規格番号

BS EN 62047-2:2006

制定年

2006

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS EN 62047-2:2006

範囲

この国際規格は、微小電気機械システム（MEMS）やマイクロマシンなどの主要構造材料である、長さ、幅1mm以下、厚さ10μm以下の薄膜材料の引張試験方法を規定しています。 MEMSやマイクロマシンなどの主要構造材料は、代表的な寸法が数ミクロンオーダーであること、蒸着による材料作製、エッチングやフォトリソグラフィーによる非機械加工による試験片作製などの特徴を持っています。 この国際規格は、特殊な機能に応じた精度の保証を可能にする試験方法を規定しています。

BS EN 62047-2:2006 規範的参照

• ISO 6892 金属材料の常温引張試験

BS EN 62047-2:2006 発売履歴

• 2006 BS EN 62047-2:2006 半導体デバイス、マイクロ電気機械デバイス、薄膜材料の引張試験方法