GB/T 18682-2002
物理蒸着TiN薄膜の技術条件 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 18682-2002
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2002
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 18682-2002
- 範囲
- この規格は、TiN 薄膜の物理蒸着に関する技術要件を指定します。 この規格は、TiN 薄膜の物理蒸着だけでなく、他の方法で製造された TiN 薄膜にも適用されます。 この規格は、他の材料蒸着層 (TiC、TiCN、TiAIN など) にも適用されます。
GB/T 18682-2002 発売履歴
- 2002 GB/T 18682-2002 物理蒸着TiN薄膜の技術条件
