IEC 62047-3:2006
半導体デバイス、微小電気機械装置、その3：引張試験用薄膜標準試験片

規格番号

IEC 62047-3:2006

制定年

2006

出版団体

International Electrotechnical Commission (IEC)

最新版

IEC 62047-3:2006

交換する

IEC 47/1866/FDIS:2006

範囲

この国際規格は、微小電気機械システム（MEMS）の主要構造材料である長さ、幅1mm以下、厚さ10μm以下の薄膜材料の引張試験装置の適正性と精度を保証するための標準試験片を規定したものです。 ）、マイクロマシンおよび同様のデバイス。 この国際規格は、あらかじめ引張強さが定められた標準試験片の引張強さの測定値が規定の範囲内にある場合に、引張試験装置の適正性と精度が保証されるという考え方に基づいています。 また、試験片間の特性のばらつきが最小になるように試験片を指定します。

IEC 62047-3:2006 発売履歴

• 2006 IEC 62047-3:2006 半導体デバイス、微小電気機械装置、その3：引張試験用薄膜標準試験片