BS EN 62276:2005
弾性表面波（SAW）デバイス用単結晶ウェーハ 仕様と測定方法

規格番号

BS EN 62276:2005

制定年

2006

出版団体

British Standards Institution (BSI)

状態

入れ替わる 2013-02

に置き換えられる

BS EN 62276:2013

BS EN 62276:2006

最新版

BS EN 62276:2016

範囲

この国際規格は、表面音響の製造における基板として使用することを目的とした合成石英、ニオブ酸リチウム (LN)、タンタル酸リチウム (LT)、四ホウ酸リチウム (LBO)、およびケイ酸ランタン ガリウム (LGS) 単結晶ウェーハの製造に適用されます。 波（SAW）フィルターと共振器。

BS EN 62276:2005 発売履歴

• 2016 BS EN 62276:2016 弾性表面波（SAW）デバイス用単結晶ウェーハ 仕様と測定方法
• 2013 BS EN 62276:2013 弾性表面波（SAW）デバイス用単結晶ウェーハ 仕様と測定方法
• 2006 BS EN 62276:2005 弾性表面波（SAW）デバイス用単結晶ウェーハ 仕様と測定方法