GJB/J 5463-2005
光学フィルムの屈折率測定器と膜厚測定器の校正手順 (英語版)

規格番号

GJB/J 5463-2005

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2005

出版団体

Military Standard of the People's Republic of China-Commission of Science,Technology and Industry for National Defence

最新版

GJB/J 5463-2005

範囲

この校正手順は、250nm～250nmの分光範囲におけるエリプソメトリー光学膜屈折率・膜厚検査装置（以下、検査装置という）の校正技術要件、校正項目、校正条件、校正方法、校正結果の処理および校正周期を規定する。 1700nm。 この校正手順は、新しく製造されたテスター、使用中および修理されたテスターの校正に適用できます。

GJB/J 5463-2005 発売履歴

• 2005 GJB/J 5463-2005 光学フィルムの屈折率測定器と膜厚測定器の校正手順