GB/T 20175-2006
表面化学分析 スパッタリング深さ分析 積層膜系を基準材料とした最適化手法 (英語版)

規格番号

GB/T 20175-2006

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2006

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 20175-2006

範囲

オージェ電子分光法、X 線光電子分光法、二次イオン質量分析法の機器設定を最適化して深さ分解能を達成するために、この規格では適切な単層および多層膜システム標準物質を使用して、最適化されたスパッタリング深さ分析を提供します。 パラメータのガイド。 特殊な多層システム (さまざまなドープ層システムなど) の使用は、この規格ではカバーされていません。

GB/T 20175-2006 発売履歴

• 2006 GB/T 20175-2006 表面化学分析 スパッタリング深さ分析 積層膜系を基準材料とした最適化手法