ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005
クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 3: 試験方法

規格番号

ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005

制定年

2006

出版団体

American National Standards Institute （ANSI)

最新版

ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005

範囲

ISO 14644 のこの部分では、浮遊微粒子の清浄度の指定された分類と、クリーンルームおよびクリーン ゾーンの性能の特性評価のための試験方法が規定されています。 性能テストは、2 つのタイプのクリーンルームとクリーン ゾーン、つまり一方向の流れを持つクリーンルームと非一方向の流れを持つクリーン ゾーンに対して指定されており、建設時、休止中、運用中の 3 つの可能な占有状態で行われます。 テスト方法では、性能パラメータを決定するためのテスト装置とテスト手順を推奨します。

ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005 発売履歴

• 2006 ANSI/IEST/ISO 14644-3:2005 クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 3: 試験方法