ANSI/IEST/ISO 14644-5:2004
クリーンルームおよび関連する管理された環境 パート 5: 運用

規格番号
ANSI/IEST/ISO 14644-5:2004
制定年
2006
出版団体
American National Standards Institute (ANSI)
最新版
ANSI/IEST/ISO 14644-5:2004
範囲
ISO 14644 のこの部分では、クリーンルーム作業の基本要件が規定されています。 クリーンルームの使用・運営を計画されている方を対象としています。 ISO 14644 のこの部分では、汚染管理に直接関係のない安全性の側面は考慮されていないため、国および地域の安全規制に従う必要があります。 この文書では、あらゆる種類の製品の製造に使用されるクリーンルームのすべてのクラスを考慮しています。 したがって、適用範囲は広く、個々の業界の特定の要件には対応しません。 ISO 14644 のこの部分では、クリーンルーム内の日常監視の方法とプログラムについては詳しく説明されていませんが、粒子の監視については ISO 14644-2 および ISO 14644-3、微小粒子の監視については ISO 14698-1 および ISO 14698-2 が参照されています。 生物。

ANSI/IEST/ISO 14644-5:2004 発売履歴




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