ANSI/IEST/ISO 14644-7:2004
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 7: 分離装置 (クリーン エア フード、グローブ ボックス、光電アイソレータおよび微小循環装置)

規格番号

ANSI/IEST/ISO 14644-7:2004

制定年

2006

出版団体

American National Standards Institute （ANSI)

最新版

ANSI/IEST/ISO 14644-7:2004

範囲

ISO 14644 のこの部分では、ISO 14644-4 および 14644-5 に記載されているクリーンルームとは異なる点で、分離装置の設計、建設、設置、試験および承認に関する最小要件を指定します。 ISO 14644 のこの部分の適用では、次の制限が考慮されます。 ユーザー要件は顧客とサプライヤーが合意したとおりです。 アプリケーション固有の要件には対応していません。 分離型デバイスの設置に対応する特定のプロセスは指定されていません。 火災、安全、その他の規制事項は特に考慮されていません。 必要に応じて、国および地方の規制が適用されます。 ISO 14644 のこの部分は、フルスーツには適用されません。

ANSI/IEST/ISO 14644-7:2004 発売履歴

• 2006 ANSI/IEST/ISO 14644-7:2004 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 7: 分離装置 (クリーン エア フード、グローブ ボックス、光電アイソレータおよび微小循環装置)