ISO 10692-1:2001
ガスシリンダーマイクロエレクトロニクス産業用のガスシリンダーバルブの接続 パート 1: 出口接続

規格番号

ISO 10692-1:2001

制定年

2001

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 10692-1:2001

範囲

ISO 10692 のこの部分は、ガスおよびガス混合物のガスシリンダーバルブの出口接続に適用され、マイクロエレクトロニクス部品または同様の用途の製造で最高レベルの清浄度と粒子の除去が要求される特別な要件に関係します。

ISO 10692-1:2001 発売履歴

• 2001 ISO 10692-1:2001 ガスシリンダーマイクロエレクトロニクス産業用のガスシリンダーバルブの接続 パート 1: 出口接続