ISO 10692-2:2001
ガスシリンダーマイクロエレクトロニクス産業向けのガスシリンダーバルブの接続 パート 2: バルブとシリンダーの接続の仕様と型式テスト

規格番号

ISO 10692-2:2001

制定年

2001

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 10692-2:2001

範囲

ISO 10692 のこの部分では、マイクロエレクトロニクスの製造など、最高レベルの清浄度および/または粒子の除去が要求される特別な使用条件下で使用される、ガスおよびガス混合物のガスシリンダーとバルブ間の接続に関するテスト手順と合格基準を指定しています。 コンポーネント。 バルブとシリンダーの接続の安全性を確保するための必須のタイプのテストプログラムを指定しています。 接続の耐久性およびその他の動作上の特徴を評価するために推奨される追加のテストは、付録 A に記載されています。

ISO 10692-2:2001 発売履歴

• 2001 ISO 10692-2:2001 ガスシリンダーマイクロエレクトロニクス産業向けのガスシリンダーバルブの接続 パート 2: バルブとシリンダーの接続の仕様と型式テスト