ISO/TR 15969:2001
表面化学分析 深さの説明 スパッタ深さの測定
- 規格番号
- ISO/TR 15969:2001
- 制定年
- 2001
- 出版団体
- International Organization for Standardization (ISO)
- 状態
- に置き換えられる
- ISO/TR 15969:2021
- 最新版
- ISO/TR 15969:2021
- 範囲
- この技術レポートは、スパッタ深さプロファイリングにおけるスパッタ深さの測定に関するガイドラインを提供します。 この技術レポートで説明されているスパッタ深さの測定方法は、イオン衝撃と組み合わせて固体サンプルの一部を最大数マイクロメートルの典型的なスパッタ深さまで除去するために使用される場合、表面化学分析の技術に適用できます。
ISO/TR 15969:2001 発売履歴
- 2021 ISO/TR 15969:2021 表面化学分析 - 深さ分析 - スパッタ深さの測定
- 2001 ISO/TR 15969:2001 表面化学分析 深さの説明 スパッタ深さの測定
