ISO 6145-7:2001
ガス分析のための動的容積法による校正用混合ガスの調製その7：サーマルマスフローコントローラー
- 規格番号
- ISO 6145-7:2001
- 制定年
- 2001
- 出版団体
- International Organization for Standardization (ISO)
- 状態
- に置き換えられる
- ISO 6145-7:2009
- 最新版
- ISO 6145-7:2018
- 範囲
- ISO 6145 のこの部分では、市販のサーマルマスフローコントローラーを使用して、純粋なガスまたは他のガス混合物から 2 つ以上の成分を含む校正ガス混合物を連続的に生成する方法が規定されています。 流量コントローラーの設定値を所定の値に調整することにより、混合ガスの組成を迅速かつ連続的に変化させることができます。 サーマルマスフローコントローラーの適切な組み合わせを選択し、純粋なガスを使用することにより、補助ガス中の対象成分の体積分率を 1,000 倍変えることができます。 測定の相対拡張不確かさ U が得られます。 相対的な複合標準不確かさにカバレッジ係数 k = 2 を乗算すると、2 % を超えなくなります。 純粋なガスの代わりに予混合ガスを使用すると、10 未満のモル分率が得られます。 質量流量の測定は絶対的なものではなく、流量コントローラーには独立した校正が必要です。 この方法の利点は、大量のガス混合物を連続的に調製できること、および適切な数のサーマルマスフローコントローラーを使用すれば、二成分混合物と同じくらい容易に多成分混合物を調製できることです。 熱式質量流量コントローラに基づくガス混合システムや、コンピュータ化および自動制御の機能を備えたものは市販されています。
ISO 6145-7:2001 発売履歴
- 2018 ISO 6145-7:2018 ガス分析 - 動的容量法を使用した校正ガス混合物の調製 SPART 7: 熱質量流量コントローラー
- 2009 ISO 6145-7:2009 ガス分析 動的容量法による校正ガス混合物の調製 パート 7: サーマルマスフローコントローラー
- 2001 ISO 6145-7:2001 ガス分析のための動的容積法による校正用混合ガスの調製その7：サーマルマスフローコントローラー
