DIN 50453-3:2001
半導体技術試験 エッチング混合物のエッチング速度の決定 パート 3: アルミニウム 重量法
- 規格番号
- DIN 50453-3:2001
- 制定年
- 2001
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 状態
- 最新版
- DIN 50453-3:2001
- 範囲
- この文書は、アルミニウム基板におけるエッチング混合物のエッチング速度を決定するための試験方法を規定しています。 これは、より高価であり、エッチング混合物のエッチング特性に関する情報を提供しない化学分析を補足するものです。
DIN 50453-3:2001 発売履歴
- 2001 DIN 50453-3:2001 半導体技術試験 エッチング混合物のエッチング速度の決定 パート 3: アルミニウム 重量法
