DIN 50441-5:2001
半導体技術のテスト 半導体ウェーハの幾何学的寸法の決定 パート 5: 形状および平坦度の偏差の用語。

規格番号

DIN 50441-5:2001

制定年

2001

出版団体

German Institute for Standardization

状態

撤回

最新版

DIN 50441-5:2001

DIN 50441-5:2001 発売履歴

• 2001 DIN 50441-5:2001 半導体技術のテスト 半導体ウェーハの幾何学的寸法の決定 パート 5: 形状および平坦度の偏差の用語。