ISO 14644 のこの部分では、浮遊微粒子の清浄度の指定分類について ISO 14644-1 に継続的に準拠していることを証明するために、クリーンルームまたはクリーン ゾーンの定期テストの要件を指定しています。
これらの要件は、クリーンルームまたはクリーン ゾーンの分類に関して ISO 14644-1 に記載されているテストを呼び出します。
ISO 14644 のこの部分の要件に従って実行される追加のテストも指定されています。
ユーザーの裁量で適用されるオプションのテストも指定されています。
ISO 14644 のこの部分では、浮遊微粒子の清浄度の指定分類について ISO14644-1 に継続的に準拠している証拠を提供するために、クリーンルームまたはクリーン ゾーン (以下、施設と呼びます) の監視要件も指定しています。
BS EN ISO 14644-2:2000 発売履歴
2016BS EN ISO 14644-2:2015 クリーンルームおよび関連する制御環境をモニタリングすると、粒子濃度による空気清浄度に関連するクリーンルームのパフォーマンスの証拠が得られます。