DIN 50455-2:1999
半導体技術で使用される材料のテスト フォトレジストの特性評価方法 パート 2: 陽極フォトレジストの感光性の測定
- 規格番号
- DIN 50455-2:1999
- 制定年
- 1999
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 状態
- に置き換えられる
- DIN 50455-2:1999-11
- 最新版
- DIN 50455-2:1999-11
- 範囲
- この文献による方法は、シリコンウェーハ上の単層ポジ型フォトレジストの決定された感光性を基準フォトレジストと比較することによってフォトレジストの特性評価をカバーしている。
DIN 50455-2:1999 発売履歴
- 1999 DIN 50455-2:1999-11 半導体技術の材料試験 フォトレジストの特性評価方法 パート 2: ポジ型フォトレジストの感光性の決定
- 1999 DIN 50455-2:1999 半導体技術で使用される材料のテスト フォトレジストの特性評価方法 パート 2: 陽極フォトレジストの感光性の測定
