GB/T 17866-1999
特注欠陥マスクのガイドラインとマスク欠陥検査装置の感度解析の評価測定方法 (英語版)

規格番号

GB/T 17866-1999

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1999

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 17866-1999

範囲

この規格の目的は、マスク欠陥検査システムの感度を評価するために使用できるテスト マスクのセットを開発することです。 このテスト マスクのセットには、カスタム パターン欠陥のあるテスト チップとカスタム パターン欠陥のない基準テスト チップが含まれます。 テストチップはさまざまなユニットから構成されているため、この規格ではセルのパターン、セルのパターン内の特殊な欠陥、およびセルの配置によってテストチップを定義します。 さらに、テストマスクは、テストチップの配置を指定することによって定義される。 この規格では、このマスクのセットの使用についても説明しています。 これまでの機器の感度試験では、多くの機器メーカーやユーザーが異なるマスクを使用し、メーカーやユーザーごとに異なる試験方法を決定していました。 場合によっては、まだ統一された測定方法や感度分析方法が存在しないこともあります。 したがって、さまざまなメーカーの機器の感度を比較する場合、メーカーとユーザーが仕様を合意する場合、およびユーザーとユーザーが仕様を合意する場合、必ず混乱が生じます。 したがって、マスク欠陥検査装置の感度を評価する場合には、この規格で規定されているテストマスクを使用するのがよいでしょう。

GB/T 17866-1999 発売履歴

• 1999 GB/T 17866-1999 特注欠陥マスクのガイドラインとマスク欠陥検査装置の感度解析の評価測定方法