JIS R 1636:1998
ファインセラミックス膜の厚さの試験方法 接触式粗面計法による膜厚の測定

規格番号

JIS R 1636:1998

制定年

1998

出版団体

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

最新版

JIS R 1636:1998

範囲

この規格は,ファインセラミックス薄膜の膜厚を，触針式表面粗さ計によって試験する方法について規定する。適用できる陣厚の範囲は，10-10000nmとする。

JIS R 1636:1998 発売履歴

• 1998 JIS R 1636:1998 ファインセラミックス膜の厚さの試験方法 接触式粗面計法による膜厚の測定