JIS K 0132:1997
走査型電子顕微鏡の一般原理

規格番号

JIS K 0132:1997

制定年

1997

出版団体

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

最新版

JIS K 0132:1997

範囲

この規格は，走査電子顕微鏡を用いて，主として二 次電子による試料表面の微小部の形態観察と分析を行う場合の一般的事項について規定する。

JIS K 0132:1997 発売履歴

• 1997 JIS K 0132:1997 走査型電子顕微鏡の一般原理