GB/T 16942-1997
電子産業用ガス水素 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 16942-1997
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1997
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2010-05
- に置き換えられる
- GB/T 16942-2009
- 最新版
- GB/T 16942-2009
- 範囲
- この規格は、エレクトロニクス産業で使用される水素の技術要件、試験方法、包装、マーキング、安全性などを規定しています。 この規格は工業用水素を原料として精製して製造されるボンベ充填水素に適用されます。 水素は主に還元雰囲気を提供するため、エピタキシャルプロセスのキャリアガスとして、またプラズマエッチャントのガス分配用の原料として使用されます。 分子式：H2 相対分子量：2.016（1991年の国際相対原子量による）
GB/T 16942-1997 発売履歴
- 2009 GB/T 16942-2009 電子産業用ガス 水素
- 1997 GB/T 16942-1997 電子産業用ガス水素
