GB/T 16523-1996
円形石英ガラスフォトマスク基板の仕様 (英語版)

規格番号

GB/T 16523-1996

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

1996

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 16523-1996

範囲

この規格は、円形石英ガラス フォトマスク基板の技術要件とテスト方法を指定します。 この規格は円形石英ガラスフォトマスク基板に適用されます。

GB/T 16523-1996 発売履歴

• 1996 GB/T 16523-1996 円形石英ガラスフォトマスク基板の仕様