JIS H 0615:1996
フォトルミネッセンス分光法によるシリコン結晶中の不純物濃度の測定方法

規格番号

JIS H 0615:1996

制定年

1996

出版団体

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

JIS H 0615 ERRATUM 1:2006

最新版

JIS H 0615:2021

範囲

この規格は,フォトルミネッセンスによるシリコン単結品及び多結品シリコンの不純物濃度の定方法について規定する。測定可能な不純物元素は，ボロン(B)，アルミニウム(Al) ,りん(P)及びひ素(As)で測定濃度範囲は1×1011～5×015atoms/cm3 (0.002～100 ppba)である。

JIS H 0615:1996 発売履歴

• 2021 JIS H 0615:2021 フォトルミネッセンス分光法によるシリコン結晶中の不純物濃度の測定方法
• 2006 JIS H 0615 ERRATUM 1:2006 正誤表
• 1996 JIS H 0615:1996 フォトルミネッセンス分光法によるシリコン結晶中の不純物濃度の測定方法