JIS H 0614:1996
ミラーシリコンウェーハの外観検査

規格番号

JIS H 0614:1996

制定年

1996

出版団体

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

最新版

JIS H 0614:1996

範囲

この規格は,半導体素子を形成することを目的としたシリコンウェーハをケミカル·メカニカルポリッシュによって鏡面加工仕上げしたウェーハ（以下，ウェーハという。）の表面(鏡面及び裏面)の目視による外観検査について規定する。

JIS H 0614:1996 発売履歴

• 1996 JIS H 0614:1996 ミラーシリコンウェーハの外観検査