DIN 50438-2:1982
半導体プロセス材料の検査 その2 赤外線吸収法によるシリコン中の不純物含有量の測定 カーボン

規格番号

DIN 50438-2:1982

制定年

1982

出版団体

German Institute for Standardization

状態

撤回

最新版

DIN 50438-2:1982

範囲

半導体技術用の材料の試験。 赤外線吸収によるシリコンの不純物含有量の測定。 半導体技術のための炭素材料のテスト。 を使用したシリコン中の不純物含有量の測定

DIN 50438-2:1982 発売履歴

• 1982 DIN 50438-2:1982 半導体プロセス材料の検査 その2 赤外線吸収法によるシリコン中の不純物含有量の測定 カーボン