DIN 50443-1:1988
半導体プロセスで使用される材料の検査その1：X線形状測定による半導体単結晶シリコンの結晶欠陥や不均一性の検出
- 規格番号
- DIN 50443-1:1988
- 制定年
- 1988
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 状態
- 最新版
- DIN 50443-1:1988
- 範囲
- この規格は、X 線トポグラフィーによる半導体シリコン単結晶の欠陥や不均一性の認識方法を決定します。
DIN 50443-1:1988 発売履歴
- 1988 DIN 50443-1:1988 半導体プロセスで使用される材料の検査その1：X線形状測定による半導体単結晶シリコンの結晶欠陥や不均一性の検出
