DIN 50441-3:1985
半導体プロセス材料の検査 その3: 半導体スライスの幾何学的寸法の測定 その3: 多線干渉法による研磨スライスの面ずれの測定

規格番号

DIN 50441-3:1985

制定年

1985

出版団体

German Institute for Standardization

状態

撤回

最新版

DIN 50441-3:1985

DIN 50441-3:1985 発売履歴

• 1985 DIN 50441-3:1985 半導体プロセス材料の検査 その3: 半導体スライスの幾何学的寸法の測定 その3: 多線干渉法による研磨スライスの面ずれの測定