DIN EN ISO 25178-603:2014-02
製品の幾何学的仕様 (GPS) 表面テクスチャ: エリア パート 603: 非接触 (位相シフト干渉顕微鏡) 機器の公称特性
- 規格番号
- DIN EN ISO 25178-603:2014-02
- 制定年
- 2014
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 状態
- に置き換えられる
- DIN EN ISO 25178-603:2023-12
- 最新版
- DIN EN ISO 25178-603:2023-12
DIN EN ISO 25178-603:2014-02 発売履歴
- 2023 DIN EN ISO 25178-603:2023-12 製品の幾何学的仕様 (GPS) 表面テクスチャ: エリア パート 603: 非接触 (位相シフト干渉法) 機器の設計と特性 (ISO/DIS 25178-603:2023)、ドイツ語および英語 prEN ISO 25178-603 :2023
- 2014 DIN EN ISO 25178-603:2014-02 製品の幾何学的仕様 (GPS) 表面テクスチャ: エリア パート 603: 非接触 (位相シフト干渉顕微鏡) 機器の公称特性
- 2014 DIN EN ISO 25178-603:2014 技術製品の幾何学的仕様 (GPS) 表面テクスチャ面パート 603 非接触 (位相シフト干渉計による顕微鏡検査) 機器の公称特性 (ISO 25178-603-2013) ドイツ語版 EN ISO 25178-603-2013
- 1970 DIN EN ISO 25178-603 E:2011-08 製品の幾何学的仕様 (GPS) 表面テクスチャ: エリア パート 603: 非接触 (草案)
- 1970 DIN EN ISO 25178-603 E:2009-09 製品の幾何学的仕様 (GPS) 表面テクスチャ: エリア パート 603: 非接触 (草案)
