ISO 21360-1:2020
真空技術 - 真空ポンプの標準的な性能測定方法 - 第 1 部：概要

規格番号

ISO 21360-1:2020

制定年

2020

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 21360-1:2020

範囲

この文書では、真空ポンプの体積流量を測定するための 3 つの方法と、ベース圧力、圧縮比、臨界背圧を測定するための 1 つの方法をそれぞれ規定しています。 体積流量を測定する最初の方法 (スループット法) は、入口圧力を測定しながら定常ガス流をポンプに注入するという基本概念です。 実際には、ガスのスループットの測定は複雑または不正確になる可能性があります。 このため、スループットの直接測定を回避する他の 2 つの方法が指定されています。 体積流量を測定する 2 番目の方法 (オリフィス法) は、非常に低い入口圧力 (高真空または超高真空下) で処理量が非常に少ない場合に使用されます。 これは、2 つのチャンバーが円形のオリフィスを備えた壁によって分離されている 2 つのチャンバーのテスト ドーム内の圧力の比を測定することに基づいています。 体積流量を測定する 3 番目の方法 (ポンプダウン法) は、自動測定に適しています。 大型船舶の避難を基本としています。 体積流量は、ポンピング間隔の前後の 2 つの圧力とテスト ドームの体積から計算されます。 漏れ速度と脱着速度、ポンピング間隔中のほぼ等エントロピー膨張によるガスの冷却、低圧での分子流によって引き起こされるテストドームとポンプ間の接続ラインの流れ抵抗の増加など、さまざまな影響が圧力測定の結果に影響し、結果として得られる体積流量。 必要な測定方法の選択は、特定の種類の真空ポンプの特性によって異なります。 たとえば、臨界背圧の測定は、補助ポンプを必要とする真空ポンプにのみ必要です。 真空ポンプで測定されるすべてのデータ (消費電力の測定など) は、本書で指定されていないものであり、特定のポンプ規格で定義されています。

ISO 21360-1:2020 規範的参照

• ISO 3529-2 真空技術 - 用語解説 - 第 2 部: 真空ポンプと関連用語

ISO 21360-1:2020 発売履歴

• 2020 ISO 21360-1:2020 真空技術 - 真空ポンプの標準的な性能測定方法 - 第 1 部：概要
• 2012 ISO 21360-1:2012 真空技術 真空ポンプの性能を測定するための標準的な方法 第 1 部: 概要