UNE-EN 62276:2016
弾性表面波 (SAW) デバイス用途の単結晶ウェーハの仕様と測定方法

規格番号

UNE-EN 62276:2016

制定年

2017

出版団体

ES-UNE

最新版

UNE-EN 62276:2016

UNE-EN 62276:2016 発売履歴

• 2017 UNE-EN 62276:2016 弾性表面波 (SAW) デバイス用途の単結晶ウェーハの仕様と測定方法