T/CESA 1081-2020
半導体集積回路製造ウェーハグリーンファクトリーの評価要件 (英語版)

規格番号

T/CESA 1081-2020

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2020

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CESA 1081-2020

範囲

この規格は、半導体集積回路製造業界におけるウェーハグリーンファクトリー評価（以下「評価」という）の原則、方法、指標体系、要件、手順等を規定したものである。 この基準は、ウエハサイズが8インチまたは12インチの半導体集積回路ウエハ製品を実際に製造する工場の評価に適用され、他の種類の集積回路製品の製造工場も参考にすることができます。

T/CESA 1081-2020 発売履歴

• 2020 T/CESA 1081-2020 半導体集積回路製造ウェーハグリーンファクトリーの評価要件