T/ICMTIA 4.2-2020
集積回路用フッ化アルゴンフォトレジストモノマー パート 2: 固体メタクリレート (英語版)

規格番号

T/ICMTIA 4.2-2020

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2020

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/ICMTIA 4.2-2020

範囲

この文書は、集積回路用フッ化アルゴンフォトレジストモノマーパート 2 固体メタクリレートの用語と定義、製品タイプと構造的特徴、技術的要件、分析と検出方法、プロセス要件、梱包、保管と輸送の要件を指定します。

T/ICMTIA 4.2-2020 発売履歴

• 2020 T/ICMTIA 4.2-2020 集積回路用フッ化アルゴンフォトレジストモノマー パート 2: 固体メタクリレート