T/SHDSGY 135-2023
新エネルギー半導体シリコンウェーハ材料技術 (英語版)

規格番号

T/SHDSGY 135-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/SHDSGY 135-2023

範囲

この文書は、用語と定義、シリコンウェーハの技術要件、半導体シリコンウェーハの製造プロセス、試験方法、検査仕様マーク、梱包、輸送、保管および品質証明書を規定します。 この文書は新エネルギー半導体シリコンウェーハ材料技術に適用されます。

T/SHDSGY 135-2023 発売履歴

• 2023 T/SHDSGY 135-2023 新エネルギー半導体シリコンウェーハ材料技術
• 2022 T/SHDSGY 135-2022 アルミニウム合金スーパーフラットパネルの技術仕様