T/IAWBS 019-2023
半導体装置フロントエンドモジュール (英語版)

規格番号

T/IAWBS 019-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/IAWBS 019-2023

範囲

この文書は、半導体装置のフロントエンドモジュールの構造と分類、技術的要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送および保管について規定します。 この文書は、100mm、125mm、150mm、200mm、および 300mm ウェーハの半導体装置フロントエンド モジュールに適用されます。 他の仕様のウエハに対応した半導体装置フロントエンドモジュールもリファレンスとして実装可能です。

T/IAWBS 019-2023 発売履歴

• 2023 T/IAWBS 019-2023 半導体装置フロントエンドモジュール