T/ZZB 0639-2018
酸化亜鉛アルミニウムマグネトロンスパッタリングターゲット (英語版)

規格番号

T/ZZB 0639-2018

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2018

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/ZZB 0639-2018

範囲

この規格は、酸化亜鉛アルミニウムマグネトロンスパッタリングターゲットの用語と定義、基本要件、技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送および保管、品質への取り組みなどを規定しています。 この規格は、粉末冶金によって製造され、省エネルギーLow-Eガラスの機能誘電体層と薄膜太陽電池の透明電極層を堆積するためのマグネトロンスパッタリングに使用される酸化亜鉛アルミニウムマグネトロンスパッタリングターゲットに適用されます。

T/ZZB 0639-2018 発売履歴

• 2018 T/ZZB 0639-2018 酸化亜鉛アルミニウムマグネトロンスパッタリングターゲット